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1.帝王或顯貴者為隱匿身分，便裝出行。《史記．卷六．秦始皇本紀》：「始皇為微行咸陽。」南朝宋．裴駰．集解：「張晏曰：『若微賤之所為，故曰微行也。』」《初刻拍案驚奇》卷二一：「原來燕王裝作了軍官，同護衛數人出來微行的。」
2.小徑、小路。《詩經．豳風．七月》：「女執懿筐，遵彼微行。」宋．蘇軾〈殘臘獨出〉詩二首之二：「江邊有微行，詰曲背城市。」
3.深入細膩的修行方法。隋．智顗〈觀無量壽佛經疏．序〉：「隨三輩而橫截，越五苦而長騖，可謂微行妙觀，至道要術者哉。」