次微米計畫

ㄘˋㄨㄟˊㄇㄧˇㄐㄧˋㄏㄨㄚˋ

cì wéi mǐ jì huà

解釋

次微米計畫指開發小於一微米的半導體製作技術的計畫。民國七十九年,為建立完整之半導體產業,引導產業進入次微米時代。經濟部委託工研院電子所籌建次微米實驗室。正式展開為期五年(西元一九九○至一九九五年)的次微米研發工作如下:(1)建立一座八吋晶圓,Class 0.1(0.3微米)的世界一流水準的實驗室,以提供開發次微米製程技術。(2)在一九九五年以前使中華民國具備:a.0.7/0.5微米整合製程技術。b.0.35微米製程模組技術。(3)建立超潔淨技術及八吋晶圓量產型技術。(4)建立中華民國極大型積體電路(ULSI)研究發展能力,並對世界IC研究發展的領域有所貢獻。

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